SrTiO3 szubsztrát
Leírás
Az SrTiO3 egykristálynak jó rácsszerkezete van a perovszkit szerkezetű anyagból.Kiváló szubsztrát anyag a HTS és a legtöbb oxidfilm epitaxiás növekedéséhez.Széles körben alkalmazták a magas hőmérsékletű szupravezető vékonyrétegek kutatásában.Széles körben használják speciális optikai ablakokban és kiváló minőségű porlasztó célpontokban is.
Tulajdonságok
Tájolás: (100) +/-0,5 fok
Éltájolás jelzés: <001> +/-2 fok opcióként felár ellenében rendelhető
Polírozás: Az egyik oldalon CMP technológiával polírozott EPI kevesebb felszín alatti rácskárosodással.
Csomagolás: 100 osztályú műanyag zacskóba csomagolva, 1000 osztályú tiszta szoba alatt.
| Kristályos szerkezet | Köbös, a=3,905 A |
| Növekedési módszer | Vernuil |
| Sűrűség (g/cm).3） | 5.175 |
| Olvadáspont (℃) | 2080 |
| Keménység (Mho) | 6 |
| Hőtágulás | 10,4 (x10-6/ ℃) |
| Dielektromos állandó | ~300 |
| Veszteségtangens 10 GHz-en | ~5x10-4@ 300K , ~3x10-4@77K |
| Szín és megjelenés | Átlátszó (néha enyhén barna az izzítási állapottól függően).Nincsenek ikrek |
| Kémiai stabilitás | Vízben oldhatatlan |
SrTiO3 szubsztrát meghatározása
Az SrTiO3 szubsztrát stroncium-titanát (SrTiO3) vegyületből készült kristályos szubsztrátra utal.Az SrTiO3 egy köbös kristályszerkezetű perovszkit anyag, amelyet nagy dielektromos állandó, nagy hőstabilitás és sok más anyaggal való jó rácsillesztés jellemez.
Az SrTiO3 szubsztrátokat széles körben használják a vékonyréteg-lerakódás és az epitaxiális növekedés területén.Az SrTiO3 köbös szerkezete lehetővé teszi kiváló minőségű vékony filmek növekedését, kiváló kristályos minőséggel és alacsony hibasűrűséggel.Ez teszi az SrTiO3 szubsztrátumokat nagyon alkalmassá epitaxiális filmek és heterostruktúrák termesztésére különféle alkalmazásokhoz.
Az SrTiO3 nagy dielektromos állandója alkalmassá teszi olyan alkalmazásokhoz, mint a kondenzátorok, memóriaeszközök és ferroelektromos vékonyrétegek.Hőstabilitása alkalmassá teszi magas hőmérsékletű alkalmazásokhoz.
Továbbá az SrTiO3 változatos tulajdonságai, például fémes vezetőképessége alacsony hőmérsékleten és a szupravezető állapot előidézésének lehetősége, hasznossá teszik a kondenzált anyag fizikai kutatásában, valamint az elektronikus és optoelektronikai eszközök fejlesztésében.
Összefoglalva, az SrTiO3 szubsztrátok stroncium-titanátból készült kristályos szubsztrátok, amelyeket nagy dielektromos állandójuk, hőstabilitásuk és jó rácsillesztési tulajdonságaik miatt gyakran használnak vékonyréteg-leválasztáshoz, epitaxiális növekedéshez, valamint számos elektronikus és optoelektronikai alkalmazáshoz.
