MgF2 szubsztrát
Leírás
Az MgF2-t lencseként, prizmaként és ablakként használják 110 nm és 7,5 μm közötti hullámhosszhoz.Az ArF Excimer Laser ablakának legalkalmasabb anyaga, a jó 193nm-es átvitel miatt.Optikai polarizálóként is hatékony az ultraibolya tartományban.
Tulajdonságok
| Sűrűség (g/cm).3） | 3.18 |
| Olvadáspont (℃) | 1255 |
| Hővezető | 0,3 Wm-1K-1 300K-nál |
| Hőtágulás | 13,7 x 10-6 /℃ párhuzamos c-tengely 8,9 x 10-6 /℃, merőleges a c-tengelyre |
| Knoop keménység | 415 100 g-os behúzással (kg/mm2) |
| Fajlagos hőkapacitás | 1003 J/(kg.k) |
| Dielektromos állandó | 1,87 1 MHz-en párhuzamos c-tengellyel 1,45 1 MHz-en, a c-tengelyre merőlegesen |
| Youngs Modulus (E) | 138,5 GPa |
| Nyírási modulus (G) | 54,66 GPa |
| Tömeges modulus (K) | 101,32 GPa |
| Elasztikus együttható | C11=164;C12=53;C44=33,7 C13=63;C66=96 |
| Látszólagos rugalmassági határ | 49,6 MPa (7200 psi) |
| Poisson-arány | 0,276 |
MgF2 szubsztrát meghatározása
Az MgF2 szubsztrát magnézium-fluorid (MgF2) kristályanyagból készült hordozóra utal.A MgF2 egy magnézium (Mg) és fluor (F) elemekből álló szervetlen vegyület.
Az MgF2 szubsztrátumok számos figyelemre méltó tulajdonsággal rendelkeznek, amelyek népszerűvé teszik őket különféle alkalmazásokban, különösen az optika és a vékonyréteg-leválasztás területén:
1. Nagy átlátszóság: Az MgF2 kiváló átlátszósággal rendelkezik az elektromágneses spektrum ultraibolya (UV), látható és infravörös (IR) tartományában.Széles átviteli tartománya van a körülbelül 115 nm-es ultraibolya sugárzástól a körülbelül 7500 nm-es infravörösig.
2. Alacsony törésmutató: Az MgF2 törésmutatója viszonylag alacsony, ezért ideális anyag AR bevonatokhoz és optikákhoz, mivel minimalizálja a nem kívánt visszaverődést és javítja a fényáteresztést.
3. Alacsony abszorpció: Az MgF2 alacsony abszorpciót mutat az ultraibolya és a látható spektrális régiókban.Ez a tulajdonság hasznossá teszi a nagy optikai tisztaságot igénylő alkalmazásokban, mint például lencsék, prizmák és ablakok ultraibolya vagy látható sugarakhoz.
4. Kémiai stabilitás: Az MgF2 kémiailag stabil, sokféle vegyszernek ellenáll, optikai és fizikai tulajdonságait a környezeti feltételek széles skálája mellett is megőrzi.
5. Hőstabilitás: Az MgF2 magas olvadásponttal rendelkezik, és jelentős lebomlás nélkül ellenáll a magas munkahőmérsékletnek.
Az MgF2 szubsztrátokat gyakran használják optikai bevonatokban, vékonyréteg-leválasztási eljárásokban, valamint optikai ablakokban vagy lencsékben különféle eszközökben és rendszerekben.Pufferrétegként vagy sablonként is szolgálhatnak más vékony filmek, például félvezető anyagok vagy fémbevonatok növekedéséhez.
Ezeket a szubsztrátumokat jellemzően olyan technikákkal állítják elő, mint a gőzleválasztás vagy a fizikai gőztranszport módszer, ahol az MgF2 anyagot egy megfelelő szubsztrátumanyagra hordják fel, vagy egykristályként növesztik.Az alkalmazási követelményektől függően a szubsztrátumok lehetnek ostyák, lemezek vagy egyedi formák.
